በሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ የኦፕቲካል ክፍሎች

የጨረር ንድፍ በሴሚኮንዳክተር መስክ ውስጥ ሰፊ አፕሊኬሽኖች አሉት. በፎቶሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ የኦፕቲካል ሲስተም በብርሃን ምንጭ የሚወጣውን የብርሃን ጨረር በማተኮር በሲሊኮን ዋፈር ላይ በማንሳት የወረዳውን ንድፍ የማጋለጥ ሃላፊነት አለበት። ስለዚህ በፎቶሊተግራፊ ስርዓት ውስጥ የኦፕቲካል ክፍሎችን ዲዛይን ማድረግ እና ማመቻቸት የፎቶሊቶግራፊ ማሽንን አፈፃፀም ለማሻሻል ጠቃሚ መንገድ ነው. በፎቶሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ አንዳንድ የኦፕቲካል ክፍሎች የሚከተሉት ናቸው

የፕሮጀክሽን ዓላማ
01 የፕሮጀክሽን አላማው በሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ ቁልፍ የኦፕቲካል አካል ነው፣ ብዙ ጊዜ ተከታታይ ሌንሶችን ያቀፈ ነው፣ ኮንቬክስ ሌንሶች፣ ሾጣጣ ሌንሶች እና ፕሪዝም።
02 ተግባሩ በማሳያው ላይ ያለውን የወረዳውን ንድፍ መቀነስ እና በፎቶሪሲስት በተሸፈነው ዋፈር ላይ ማተኮር ነው።
03 የትንበያ ዓላማ ትክክለኛነት እና አፈፃፀም በሊቶግራፊ ማሽን ጥራት እና ምስል ጥራት ላይ ወሳኝ ተጽዕኖ ያሳድራል።

መስታወት
01 መስተዋቶችየብርሃን አቅጣጫን ለመለወጥ እና ወደ ትክክለኛው ቦታ ለመምራት ጥቅም ላይ ይውላሉ.
02 በ EUV lithography ማሽኖች ውስጥ መስተዋቶች በተለይ አስፈላጊ ናቸው ምክንያቱም የኢዩቪ ብርሃን በቀላሉ በቁሳቁሶች ስለሚዋሃድ ከፍተኛ አንጸባራቂ ያላቸው መስተዋቶች መጠቀም አለባቸው።
03 የአንጸባራቂው ወለል ትክክለኛነት እና መረጋጋት እንዲሁ በሊቶግራፊ ማሽን አፈፃፀም ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራል።

በሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ የኦፕቲካል ክፍሎች1

ማጣሪያዎች
01 ማጣሪያዎች የማይፈለጉ የብርሃን የሞገድ ርዝመቶችን ለማስወገድ, የፎቶሊተግራፊ ሂደትን ትክክለኛነት እና ጥራት ለማሻሻል ያገለግላሉ.
02 ተገቢውን ማጣሪያ በመምረጥ የአንድ የተወሰነ የሞገድ ርዝመት ብርሃን ብቻ ወደ ሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ መግባቱን ማረጋገጥ ይቻላል, በዚህም የሊተግራፊ ሂደቱን ትክክለኛነት እና መረጋጋት ያሻሽላል.

በሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ የኦፕቲካል አካላት2

ፕሪዝም እና ሌሎች አካላት
በተጨማሪም ፣ የሊቶግራፊ ማሽኑ የተወሰኑ የሊቶግራፊ መስፈርቶችን ለማሟላት እንደ ፕሪዝም ፣ ፖላራይዘር ፣ ወዘተ ያሉ ሌሎች ረዳት ኦፕቲካል ክፍሎችን ሊጠቀም ይችላል። የሊቶግራፊ ማሽኑን ከፍተኛ ትክክለኛነት እና ቅልጥፍናን ለማረጋገጥ የእነዚህ የኦፕቲካል ክፍሎች ምርጫ ፣ ዲዛይን እና ማምረት ተገቢውን የቴክኒክ ደረጃዎች እና መስፈርቶች በጥብቅ መከተል አለባቸው ።

በሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ የኦፕቲካል ክፍሎች 3 

በማጠቃለያው በሊቶግራፊ ማሽኖች መስክ የኦፕቲካል ክፍሎችን መተግበሩ የሊቶግራፊ ማሽኖችን አፈፃፀም እና የምርት ቅልጥፍናን ለማሻሻል ያለመ ነው, በዚህም የማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ የማኑፋክቸሪንግ ኢንዱስትሪ እድገትን ይደግፋል. የሊቶግራፊ ቴክኖሎጂ ቀጣይነት ባለው እድገት፣ የኦፕቲካል ክፍሎችን ማመቻቸት እና ፈጠራ ለቀጣዩ ትውልድ ቺፖችን ለማምረት የበለጠ አቅምን ይሰጣል።

ለበለጠ ግንዛቤ እና የባለሙያ ምክር፣በሚከተለው ድረ-ገጻችንን ይጎብኙhttps://www.jiujonoptics.com/ስለ ምርቶቻችን እና መፍትሄዎች የበለጠ ለማወቅ.


የልጥፍ ጊዜ: ጥር-02-2025